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Technoorg Linda新品發(fā)布,引領(lǐng)精密制樣技術(shù)新高度

瀏覽次數:1131 發(fā)布日期:2024-6-25  來(lái)源:本站 本站原創(chuàng ),轉載請注明出處

離子研磨儀新品發(fā)布

在當今高科技行業(yè)中,精密離子研磨技術(shù)的進(jìn)步對材料科學(xué)、半導體制造和納米技術(shù)的發(fā)展至關(guān)重要。

作為行業(yè)領(lǐng)導者,近期Technoorg Linda 再次突破創(chuàng )新,在匈牙利首都布達佩斯剛剛結束的全球會(huì )議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統 Gentle Ion Beam(GIB),為全球用戶(hù)帶來(lái)更加高效、精確的解決方案。

復納科學(xué)儀器(上海)有限公司作為 Technoorg Linda 在中國的獨家合作伙伴,我們?yōu)榭蛻?hù)提供全方位的產(chǎn)品培訓、技術(shù)支持和售后服務(wù)。

SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設備

當前在國內市場(chǎng),Technoorg Linda 專(zhuān)注于引進(jìn)并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡(SEM)樣品制備,Gentle Ion Beam(GIB)精修離子束系統主要用于雙束 SEM / FIB 系統中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進(jìn)行zui終拋光和溫和的表面清潔。

離子研磨儀

新產(chǎn)品 01
SEMPREP SMART 離子研磨儀

SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進(jìn)和清潔機械拋光的 SEM 樣品,并為 EBSD 分析制備無(wú)損表面。該設備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品,例如在半導體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現出色的效果。

SEMPREP SMART離子研磨儀

SEMPREP SMART
產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 先進(jìn)的離子槍設計和自動(dòng)化功能

采用超高能離子槍?zhuān)罡呖蛇_ 16keV,帶來(lái)更快的加工速率,更優(yōu)異的加工效果。

  • 新型智能化操作軟件 

Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設計上充分考慮了用戶(hù)的實(shí)際需求,開(kāi)創(chuàng )性的將 AI 算法集成到系統中,使操作更加智能化,提供多種操作模式:

1.配方庫-離線(xiàn):基于我們長(cháng)期的經(jīng)驗積累
2.自動(dòng)配方生成 - 離線(xiàn):基于簡(jiǎn)短問(wèn)卷
3.Linda AI - 在線(xiàn):實(shí)時(shí)搜索最佳解決方案,訪(fǎng)問(wèn)龐大數據庫以獲取最佳結果

 

離子研磨儀新型智能化操作軟件
高效,全面,智能化的理解用戶(hù)需求,提供即時(shí)的反饋和解決方案

  • 高分辨率數字相機

在處理過(guò)程中用于樣品觀(guān)察

  • 全新的對位樣品臺

在進(jìn)行 90° 截面樣品加工時(shí)帶來(lái)更加精確的樣品定位

離子研磨儀樣品臺

  • 可選的新型 LN2 冷卻系統

為用戶(hù)帶來(lái)更加高效及精確的長(cháng)時(shí)間控溫

使用氬離子束進(jìn)行加工

  • 平面加工模式

在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續旋轉的條件下進(jìn)行加工
在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續旋轉的條件下進(jìn)行加工

氬離子拋光機
Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類(lèi)型 (b)

  • 90° 截面加工模式

氬離子拋光
使用鈦或玻璃擋板進(jìn)行連續搖擺的截面加工

離子研磨儀90° 截面加工模式

  TFT 板的 90° 加工,位置精度為 ±1 微米                  加工點(diǎn)后方的 TFT表面細節           


新產(chǎn)品 02
GIB 精修離子束系統
Technoorg Linda 的精修離子束系統(GIB)適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無(wú)定形和氧化物表面層。當低能氬離子槍集成到掃描電鏡中時(shí),其作用尤為明顯。有了集成離子槍?zhuān)涂梢栽谘芯恐皩悠愤M(jìn)行精修。實(shí)現高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。
 

GIB 精修離子束系統

GIB 精修離子束系統
產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 儀器控制單元

    電子元件、閉環(huán)冷卻系統和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內。高純度(99.999%)氬氣用于供應離子源,其流量由高精度針閥調節?刂栖浖 Windows 操作系統下運行,可以單獨安裝在一臺計算機上,也可以安裝在 SEM 的計算機上

精修離子束系統儀器控制單元

  • 可與掃描電鏡集成

    帶波紋管的傳輸系統可通過(guò)連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應的 SEM 端口尺寸相匹配。通過(guò)線(xiàn)性傳輸系統提供離子源流動(dòng)性,可實(shí)現理想的工作距離(15-30 mm)。

精修離子束系統可與掃描電鏡集成

  • 低能量氬離子槍

    低能量離子槍的直徑和長(cháng)度均為 50mm。氬離子束的能量范圍:100keV - 2keV。2keV 時(shí)的最大束流為 70µA。離子束為寬束,FWHM 為 2mm。

精修離子束系統低能量氬離子槍

低能量氬離子槍

歡迎您隨時(shí)聯(lián)系我們獲取更多產(chǎn)品詳情和應用案例

相關(guān)公司:復納科學(xué)儀器(上海)有限公司
聯(lián)系電話(huà):400-857-8882
E-mail:cici.yang@phenom-china.com


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